1.生產(chǎn)設備之選擇、布置與保養:
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設備及相關(guān)設備,尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。
b.應選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設備或接口設備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應配備過(guò)濾裝置。
d.規劃各設備之配置空間時(shí),事先宜考慮不易積累微塵之結構,規劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類(lèi)設備,應設置在無(wú)塵室外面或回風(fēng)區,并加裝排氣管線(xiàn)排氣。
f.設置給水管線(xiàn)、氣體管線(xiàn)和電氣系統時(shí),其構造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。
h.應加強注意室內的溫濕度控制,避免因濕度之不當造成結露生銹。
i.當設備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子,故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行,并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠(chǎng)商,應告知進(jìn)出無(wú)塵室之各項規定,且負責工程師應隨侍在側監工。
k.應有無(wú)塵室專(zhuān)用工具組,但不得帶出無(wú)塵室外使用。
l.規劃空間時(shí)若能臨近無(wú)塵室設立一間維修和設備保養手冊置放室,將是一理想之規劃。
2.生產(chǎn)設備之防塵措施:
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因,故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b.易產(chǎn)生塵埃之設備,若能的話(huà)應布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。
c.在操作時(shí),盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作,以免卷起附近之灰塵。
e.各項廠(chǎng)務(wù)設施之供應如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設備前應有過(guò)濾設備。
f.為不使氣體或液體滯留,造成微污染,故管路配置應有旁路閥之設置。
3.自動(dòng)化與無(wú)塵化:
a.設立自動(dòng)化傳送系統,可減少人員方面所帶來(lái)的污染,唯費用相當昂貴,須詳加評估。
b.建立管制項目如進(jìn)入無(wú)塵室人員的資格限定,無(wú)塵室作業(yè)人員作業(yè)規則,無(wú)塵室管理規則等。