潔凈廠(chǎng)房的地板系統除了需要給在這個(gè)區域工作的人們提供穩定的立足點(diǎn)外,還要提供更多東西,例如把潔凈的空氣送入房間,支撐加工藝設備,為必要的設備維修提供方便的通道,并且還要具備堅固的表面保證設備可以在上面進(jìn)行改造。潔凈廠(chǎng)房的地板也提供了電力系統的接地,起到傳導和靜電耗散的作用,消除ESD積累。
潔凈廠(chǎng)房的地板成為整個(gè)潔凈廠(chǎng)房中較重要的組成部分。然而,很多設備經(jīng)理或工具安裝人員,在使用潔凈廠(chǎng)房時(shí)都會(huì )碰到地板帶來(lái)的麻煩。舉個(gè)例子,人們要進(jìn)入地板下面的空間時(shí),就會(huì )認識到--由于公差過(guò)于精密——需要很大的力量才能打開(kāi)地板塊;然后,在把地板塊放回原處的時(shí)候,通常地板塊無(wú)法完全復原,不得不用腳用力在上面跺。而且,在使用工具翻開(kāi)地板塊的時(shí)候,經(jīng)常會(huì )損壞它們。
很明顯,隨著(zhù)時(shí)間的推移,這類(lèi)原因和其他各種因素促使人們尋找一種不同的方法,設計和建造潔凈廠(chǎng)房的地板。